一种电子束偏转扫描装置

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摘要

一种电子束偏转扫描装置，解决了现有的扫描装置安装后位置调节不便，同时扫描电子束无法进行较好的偏转，不利于各类尺寸各种规格晶圆的测量的问题，其包括装置本体，所述装置本体外侧设有壳体，壳体内侧一端的中部安装有电子枪，电子枪一侧的壳体上设有加速阳极，加速阳极的一侧设有第一电磁透镜，第一电磁透镜的一侧设有第二电磁透镜，第一电磁透镜和第二电磁透镜上均匀设有调节块，壳体一端的顶部和一侧均固定有固定块，固定块的中部开设有通孔，通孔内安装有轴承，轴承的内部插接有圆杆，本实用新型结构新颖，构思巧妙，便于装置本体的位置的调节，可对电子束进行偏转，便于进行各类尺寸各种规格晶圆的测量。

基本信息

专利标题：

一种电子束偏转扫描装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020011265.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-01-02

授权号：

CN211016992U

授权日：

2020-07-14

发明人：

王海波

申请人：

无锡职业技术学院

申请人地址：

江苏省无锡市高浪西路1600号

代理机构：

无锡华源专利商标事务所(普通合伙)

代理人：

聂启新

优先权：

CN202020011265.2

主分类号：

H01J37/147

IPC分类号：

H01J37/147 H01J37/28