本实用新型公开了一种芯片清洗机及其上下料机构，应用于芯片清洗机上，该芯片清洗机具有机架及设置在机架上的清洗装置，该上下料机构包括：移栽机构，设置于所述清洗装置上，用于为所述清洗装置进行自动上下料；入料模组，设置于所述机架上，用于存放芯片；以及取料机构，与所述移栽机构相互垂直设置，用于抓取所述入料模组上的芯片并进行定位和放置清洁后的芯片。本实用新型采用氮气加热后对清洁后的芯片进行干燥处理，可有效的除去芯片上残留的水渍水痕，干燥后的芯片放置数月依然不发生霉变，干燥效果好，并且可以精准的实现对芯片的定位上料，适合推广使用。