一种研磨液加湿系统
授权
摘要
本实用新型涉及研磨液装置技术领域，具体公开了一种研磨液加湿系统，包括研磨液桶，在所述研磨液桶上安装一个加湿系统，所述加湿系统包括加湿器装置、N2供气装置和DIW供液装置，所述研磨液桶和所述加湿器装置均DRAIN2废液排出装置连接；所述DIW供液装置和N2供气装置均与所述加湿器装置连接；所述加湿器装置与研磨液桶连接；打开与加湿器装置连接的DIW供液装置的气动阀或手动阀和N2供气装置的手动阀，纯水和N2进入所述加湿器装置中，形成水雾进入与加湿器装置连接的研磨液桶内。本实用新型实施例提供的一种研磨液加湿系统，通过加湿器产生水蒸气，对研磨液进行加湿，减少研磨液结晶率。
基本信息
专利标题 ：
一种研磨液加湿系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020037490.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-01-09
授权号 ：
CN211540870U
授权日 ：
2020-09-22
发明人 ：
罗保兴
申请人 ：
上海吉啸电子科技有限公司
申请人地址 ：
上海市奉贤区六团公路310号1幢102室
代理机构 ：
北京专赢专利代理有限公司
代理人 ：
于刚
优先权 ：
CN202020037490.3
主分类号 ：
B24B57/02
IPC分类号 ：
B24B57/02
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B57/00
磨削抛光或研磨剂的进料，加料，分选或回收设备
B24B57/02
流体的，喷射的，雾化的或液化的磨削剂，抛光剂，或研磨剂的送进
法律状态
2020-09-22 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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