一种晶圆转置装置

专利权的终止

摘要

本实用新型提供一种晶圆转置装置，包括底板，所述底板上安装有第一转置盒，第一转置盒内放置有待转置的晶圆，底板上靠近第一转置盒的一侧安装有第二转置盒，第一转置盒和第二转置盒相互连接在一起，所述底板的底部安装有滑动组件，滑动组件可以在底板的底部沿长度方向来回滑动，滑动组件上安装有推把，推把上安装有活动挡板，活动挡板的一端铰接在推把上，活动挡板可以立直在推把上，也可以水平放倒。通过本实用新型，以解决现有技术存在的传统的晶圆转移装置晶圆转移的准确性差，容易推偏的问题。

基本信息

专利标题：

一种晶圆转置装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020059001.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-01-10

授权号：

CN210925974U

授权日：

2020-07-03

发明人：

陈雅德

申请人：

无锡市佰林德机械设备有限公司

申请人地址：

江苏省无锡市滨湖区胡埭工业园南区朝阳路12号

代理机构：

北京棘龙知识产权代理有限公司

代理人：

戴丽伟

优先权：

CN202020059001.4

主分类号：

H01L21/677

IPC分类号：

H01L21/677