一种半导体制程车间排气系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种半导体制程车间排气系统,包括机台,所述机台通过排气管道和主排气管道连接,所述排气管道固定连接有过滤装置,所述过滤装置包括电机、过滤机构和清扫机构,所述电机的输出轴和过滤机构固定连接,所述过滤机构通过传动件和清扫机构啮合连接,所述过滤装置设有收集室。本实用新型结构简单,操作方便,设计科学合理,通过对机台和主排气管道之间的排气管道设置专用的过滤装置,有效避免机台工作过程中产生的粉尘遍布整个排气系统,降低工作人员对排气系统清理的难度,减少排气管道出现堵塞的情况,提高设备持续工作的能力,提高半导体制程的工作效率,增加经济效益。
基本信息
专利标题 :
一种半导体制程车间排气系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020060670.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-01-13
授权号 :
CN211914922U
授权日 :
2020-11-13
发明人 :
刘志祥
申请人 :
苏州锐泽系统工程有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市高新区科发路101号南楼905室
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202020060670.3
主分类号 :
B08B15/00
IPC分类号 :
B08B15/00 B01D46/00 B01D46/10 B08B1/02 B08B5/02 B08B15/04
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B15/00
防止污物或烟尘从产生处逸出;从产生处收集或清除污物或烟尘
法律状态
2020-11-13 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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