本实用新型公开了一种用于六氟化钨金属元素分析的取样系统，包括六氟化钨容器、高纯气源、取样装置、真空装置、收集装置、阀门和管路，六氟化钨容器通过管路依次与高纯气源、取样装置、收集装置、真空装置连通；六氟化钨容器取样口安装有I号阀门；高纯气源出口管路上安装有VII号阀门和I号压力表；取样装置上安装有II号阀门；收集装置安装有温度计、II号压力表，收集装置下部安装有IV号阀门、顶部安装有V号阀门；真空装置安装有VI号阀门；去向收集装置的管路上设置有III号阀门。该系统取样量准确性高，取样快，同时实现挥发六氟化钨的回收利用，经济绿色环保。