一种电子级三氟化氮成品分析管路系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种电子级三氟化氮成品分析管路系统，包括气体抽空系统、水分分析系统、红外光谱分析系统、气相色谱分析系统、氮气吹扫系统、尾气回收系统六部分；NF3钢瓶依次连接减压阀、压力表、控制阀，控制阀出口管线并联四路管线，第一路管线连接第一三通气动阀、NF3尾气回收口，第一三通气动阀同时连接真空泵和NF3抽空口；第二路管线连接第二三通气动阀、水分仪、分析尾气回收口，第二三通气动阀同时连接N2吹扫口；第三路管线连接第三三通气动阀、红外光谱仪、分析尾气回收口，第三三通气动阀同时连接N2吹扫口；第四路管线连接第四三通气动阀、气相色谱仪、分析尾气回收口。该管路系统能够实现一套设备一次进样，快速分析。
基本信息
专利标题 ：
一种电子级三氟化氮成品分析管路系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022348961.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-15
授权号 ：
CN213875393U
授权日 ：
2021-08-03
发明人 ：
谢腾升王娟杨亚琴焦培培付梦月
申请人 ：
昊华气体有限公司
申请人地址 ：
河南省洛阳市吉利区道南路12号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202022348961.5
主分类号 ：
G01N21/00
IPC分类号 ：
G01N21/00 G01N21/3504 G01N21/01 G01N30/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
法律状态
2021-08-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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