一种晶圆加热器
授权
摘要
本实用新型公开了一种晶圆加热器，其包括承载盘、支撑柱和云母加热片，承载盘设于支撑柱的一端，由支撑柱竖立支撑，承载盘的上表面盛放待加热的晶圆，承载盘的内部中空形成盘面状的容腔，云母加热片设置于容腔中，为承载盘的上表面均匀供热，支撑柱中空，云母加热片的电源线自支撑柱中引出。上述晶圆加热器采用圆盘状的云母加热片为工作盘面提供持续、均匀的高温，配合铝制承载盘和支撑柱提供工作平台，增加受热面积，提高受热均匀性，同时解决电源线走线问题，确保其与发热面隔离，外形简洁。
基本信息
专利标题 ：
一种晶圆加热器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020089126.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-01-15
授权号 ：
CN211378286U
授权日 ：
2020-08-28
发明人 ：
顾幼范谢龙冯永平宋海伦薛新军
申请人 ：
无锡新辉龙科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市无锡惠山经济开发区清研路12号华清创新园11-501-1
代理机构 ：
北京品源专利代理有限公司
代理人 ：
胡彬
优先权 ：
CN202020089126.1
主分类号 ：
H05B3/26
IPC分类号 ：
H05B3/26 H01L21/67
法律状态
2020-08-28 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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