一种分布式导流筒
授权
摘要

本实用新型提供一种分布式导流筒,包括压缩空气管,混合器,法兰盘,喷筒和惰性气体管,本实用新型混合器的设置,加快了混合气体的流速,提高了惰性气体对单晶硅的吹扫速度,提高单晶硅的生长速度;气体分流器的设置,气体分流器设置为空心式,且外表面开设有多个通风孔,气体分流器能够对混合气体进行分流,通过通风孔提高混合气体对单晶硅的吹扫均匀性,提高单晶硅的生长速度;混合器和喷筒的外部包裹有玻璃纤维丝,实现了导流筒的保温,使单晶硅上涨温度保持稳定,确保单晶硅棒的生产质量。

基本信息
专利标题 :
一种分布式导流筒
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020128098.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-01-20
授权号 :
CN211497864U
授权日 :
2020-09-15
发明人 :
肖岛祝广蕾韩磊白雪洁于艳丽王伟亮
申请人 :
山东北成环境工程有限公司
申请人地址 :
山东省济南市济阳县曲堤北城工业园8号
代理机构 :
青岛高晓专利事务所(普通合伙)
代理人 :
张清东
优先权 :
CN202020128098.X
主分类号 :
C30B29/06
IPC分类号 :
C30B29/06  C30B15/00  C30B13/00  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B29/00
以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料
C30B29/02
元素
C30B29/06
法律状态
2020-09-15 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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