导流筒
授权
摘要
本申请提供了一种导流筒，该导流筒具有多个沿预定方向分布的冷却段，任意两个冷却段内的导热系数不同，预定方向为导流筒的高度方向。该导流筒可以实现分段控制晶棒的冷却速率，在晶棒生长过程中形成温度分布合适的热场，避免晶棒的径向温度梯度差异较大，进而减少晶体的缺陷。
基本信息
专利标题 ：
导流筒
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922144033.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-03
授权号 ：
CN211112314U
授权日 ：
2020-07-28
发明人 ：
薛抗美
申请人 ：
徐州鑫晶半导体科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省徐州市经济技术开发区鑫芯路1号
代理机构 ：
北京康信知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
霍文娟
优先权 ：
CN201922144033.4
主分类号 ：
C30B15/00
IPC分类号 ：
C30B15/00 C30B29/06
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B15/00
熔融液提拉法的单晶生长，例如Czochralski法
法律状态
2020-07-28 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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