一种导向机构及抛光设备

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摘要

本实用新型公开了一种导向机构及抛光设备，涉及晶圆片制造技术领域。该导向机构包括底座、轴承以及设置于底座顶部的支撑杆，轴承套接于支撑杆上，导向机构还包括抵接部件，抵接部件固定连接于支撑杆的顶部，并将轴承的内圈夹持固定于抵接部件和底座之间。当将导向机构的底座和轴承外圈分别连接于两个相对旋转部件时，通过导向机构作为两部件间的相对旋转介质，能够实现两个旋转部件的旋转导向，保证两部件的稳定旋转。抛光设备包括导向机构，还包括抛光轮、抛光组件和连接组件。通过将导向机构的底座和轴承外圈分别连接相对旋转的抛光轮和连接组件，实现抛光轮与连接组件的旋转导向，进而保证抛光组件在连接组件的限制下稳定旋转。

基本信息

专利标题：

一种导向机构及抛光设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020169152.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-02-14

授权号：

CN211681561U

授权日：

2020-10-16

发明人：

李洪亮姚钉丁沈思情张俊宝陈猛

申请人：

上海超硅半导体有限公司;重庆超硅半导体有限公司

申请人地址：

上海市松江区石湖荡镇双金路258弄158号

代理机构：

北京品源专利代理有限公司

代理人：

胡彬

优先权：

CN202020169152.5

主分类号：

B24B37/34

IPC分类号：

B24B37/34 B24B37/10 B24B53/007 B24B37/30 B24B27/00 B24B55/02 B24B47/12