电极探针连接装置和系统

授权

摘要

本申请公开了一种电极探针连接装置和系统。该电极探针连接装置包括：探针机构和用于放置待测芯片的载物台；所述探针机构包括多自由度驱动座、探针支架和用于检测所述待测芯片的电极探针，所述多自由度驱动座设置在所述载物台的一侧；所述电极探针连接在所述探针支架的第一端，所述探针支架的第二端连接在所述多自由度驱动座上，以使所述多自由度驱动座驱动所述探针支架的第二端以多自由度移动，并使所述探针机构接触或远离所述待测芯片。本申请可以解决相关技术中无法稳定地将电极探针稳定连接在芯片上的技术问题。

基本信息

专利标题：

电极探针连接装置和系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020178179.0

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-02-17

授权号：

CN211826169U

授权日：

2020-10-30

发明人：

巫海苍周颖聪宋一品梁寒潇

申请人：

苏州极刻光核科技有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号纳米城西北区5幢102室

代理机构：

北京卓唐知识产权代理有限公司

代理人：

卜荣丽

优先权：

CN202020178179.0

主分类号：

G01R1/04

IPC分类号：

G01R1/04 G01R1/067 G01R1/073 G01R31/28