探针头连接方法
实质审查的生效
摘要
本申请提供一种探针头连接方法，包含以下步骤。首先，于探针头与针测机之间，设置载板与测试夹具，测试夹具设置于针测机中，且测试夹具用以容置载板。启动探针头的吸真空功能，并且移动探针头以对位测试夹具。接着，移动探针头至接触测试夹具中的载板。最后，以至少一卡合件以固定探针头与测试夹具。其中载板用以直接对接晶圆。
基本信息
专利标题 ：
探针头连接方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114518472A
申请号 ：
CN202011295154.X
公开（公告）日 ：
2022-05-20
申请日 ：
2020-11-18
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
杨高山林景立
申请人 ：
致茂电子（苏州）有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市苏州高新区珠江路855号（第七号厂房）
代理机构 ：
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
郭化雨
优先权 ：
CN202011295154.X
主分类号 ：
G01R1/04
IPC分类号 ：
G01R1/04 G01R1/067 G01R31/26
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R1/00
包括在G01R5/00至G01R13/00或G01R31/00组中的各类仪器或装置的零部件
G01R1/02
一般结构零部件
G01R1/04
外壳；支承构件；端子装置
法律状态
2022-06-07 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01R 1/04
申请日 : 20201118
申请日 : 20201118
2022-05-20 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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