一种晶硅晶圆抛光用工装
授权
摘要
本实用新型提供的一种晶硅晶圆抛光用工装；包括支撑座、旋转台、板桥和锁紧装置；支撑座位于抛光机上，与抛光机工作台相配合；旋转台位于支撑座的一侧，与支撑座连接，在支撑座上自由转动；板桥位于旋转台的一侧，与旋转台固定连接，跟随旋转台转动；锁紧装置位于板桥上，与板桥相连接。本实用新型提供的一种晶硅晶圆抛光用工装，通过锁紧螺丝压紧锁紧滑块，使得锁紧滑块向下移动，两侧的固定块被推向外侧，挤压压紧块使得U型槽变形，从而夹紧晶圆，板桥的上下两侧均可以如此装夹，实现一个工装装夹多个产品，装夹完成后，板桥的旋转可以带来两侧的产品均被加工，提高装夹和加工效率。
基本信息
专利标题 ：
一种晶硅晶圆抛光用工装
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020197507.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-02-21
授权号 ：
CN212265530U
授权日 ：
2021-01-01
发明人 ：
高鹏程
申请人 ：
苏州市兆恒众力精密机械有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市相城区太平街道顺乐路
代理机构 ：
苏州市指南针专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
金香云
优先权 ：
CN202020197507.1
主分类号 ：
B24B41/06
IPC分类号 ：
B24B41/06
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B41/00
磨削机床或装置的部件，比如机架，床身，滑板，床头箱的
B24B41/06
工件支架，如可调中心架
法律状态
2021-01-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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