一种晶硅晶圆抛光用工装
授权
摘要
本实用新型提供的一种晶硅晶圆抛光用工装;包括支撑座、旋转台、板桥和锁紧装置;支撑座位于抛光机上,与抛光机工作台相配合;旋转台位于支撑座的一侧,与支撑座连接,在支撑座上自由转动;板桥位于旋转台的一侧,与旋转台固定连接,跟随旋转台转动;锁紧装置位于板桥上,与板桥相连接。本实用新型提供的一种晶硅晶圆抛光用工装,通过锁紧螺丝压紧锁紧滑块,使得锁紧滑块向下移动,两侧的固定块被推向外侧,挤压压紧块使得U型槽变形,从而夹紧晶圆,板桥的上下两侧均可以如此装夹,实现一个工装装夹多个产品,装夹完成后,板桥的旋转可以带来两侧的产品均被加工,提高装夹和加工效率。
基本信息
专利标题 :
一种晶硅晶圆抛光用工装
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020197507.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-02-21
授权号 :
CN212265530U
授权日 :
2021-01-01
发明人 :
高鹏程
申请人 :
苏州市兆恒众力精密机械有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市相城区太平街道顺乐路
代理机构 :
苏州市指南针专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
金香云
优先权 :
CN202020197507.1
主分类号 :
B24B41/06
IPC分类号 :
B24B41/06
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B41/00
磨削机床或装置的部件,比如机架,床身,滑板,床头箱的
B24B41/06
工件支架,如可调中心架
法律状态
2021-01-01 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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