真空泵及检漏仪

授权

摘要

本实用新型提供一种真空泵与检漏仪，能够防止真空泵内的缓慢泄漏的产生。真空泵包括：泵转子部(30)，层叠着多个转子盘(30a)、转子盘(30b)，所述转子盘(30a)、转子盘(30b)包括形成为环状的层叠部(300)、及呈放射状形成于层叠部(300)的外周侧的涡轮叶片(302)；轴(10)，对层叠着的多个转子盘(30a)、转子盘(30b)的层叠部(300)的内周面进行固定；以及放气用槽(313)，将轴(10)与层叠部(300)之间的存气空间(A)和配置有涡轮叶片(302)的泵排气通道(C)加以连通，使存气空间(A)内的气体经由泵排气通道(C)排出。

基本信息

专利标题：

真空泵及检漏仪

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020221355.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-02-27

授权号：

CN211452758U

授权日：

2020-09-08

发明人：

眞锅雅嗣

申请人：

株式会社岛津制作所

申请人地址：

日本京都府京都市中京区西之京桑原町1番地

代理机构：

北京派特恩知识产权代理有限公司

代理人：

薛恒

优先权：

CN202020221355.4

主分类号：

G01M3/26

IPC分类号：

G01M3/26