一种超高真空调压装置
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摘要
本实用新型公开了一种超高真空调压装置，包括壳体、针阀和真空过滤器，壳体设有相互连通的进气端和出气端，超高真空源能够自进气端流入从出气端流出；针阀可活动地穿设在壳体中，针阀的针体能够切断或者连通进气端和出气端，用于调节超高真空源的流出压力；以及真空过滤器设置在进气端的一侧。该超高真空调压装置提高了调压的精确度，在保护超高真空源的同时，降低了成本。
基本信息
专利标题 ：
一种超高真空调压装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020243641.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-03
授权号 ：
CN211738043U
授权日 ：
2020-10-23
发明人 ：
刘震
申请人 ：
博众精工科技股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴江经济技术开发区湖心西路666号
代理机构 ：
北京品源专利代理有限公司
代理人 ：
胡彬
优先权 ：
CN202020243641.0
主分类号 ：
F16K1/00
IPC分类号 ：
F16K1/00 F16K1/38 B01D46/00
相关图片
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F16
工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热
F16K
阀；龙头；旋塞；致动浮子；通风或充气装置
F16K
阀；龙头；旋塞；致动浮子；通风或充气装置
F16K1/00
提升阀，即带有闭合元件的切断装置，闭合元件至少有打开和闭合运动的分力垂直于闭合面
法律状态
2020-10-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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