陶瓷电极及具有该陶瓷电极的薄膜传感器

授权

摘要

本实用新型提供的陶瓷电极及具有该陶瓷电极的薄膜传感器，属于薄膜传感器技术领域，其中，陶瓷电极包括：陶瓷基底、定电极层和支撑结构，所述支撑结构采用电镀方式沉积在陶瓷基底的与所述定电极层所在的同一面上，所述支撑结构与所述陶瓷基底之间具有镀层，所述镀层与所述定电极层的厚度相等；本实用新型的陶瓷电极，在陶瓷基底的设置电极层的一面，采用丝网印刷或物理气相沉积的方式还设置有电铸前的镀层，然后再在该镀层上设置支撑结构，并且所述支撑结构为通过电铸的方式精确控制厚度，不仅可避免丝网印刷或物理气相沉积的电极层厚度对电极间距的影响，而且还可以精确控制支撑结构的厚度，从而保证传感器的精度。

基本信息

专利标题：

陶瓷电极及具有该陶瓷电极的薄膜传感器

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020248547.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-03-03

授权号：

CN211401537U

授权日：

2020-09-01

发明人：

张心强陈林

申请人：

中科九微科技有限公司

申请人地址：

四川省南充市顺庆区潆华北路四段299号中科九微科技有限公司

代理机构：

北京三聚阳光知识产权代理有限公司

代理人：

秦广成

优先权：

CN202020248547.4

主分类号：

G01L21/00

IPC分类号：

G01L21/00