一种陶瓷电极塞式火工品桥区温度测量用薄膜传感器
实质审查的生效
摘要
一种陶瓷电极塞式火工品桥区温度测量用薄膜传感器，属于薄膜温度传感器设计与集成制备技术领域。所述薄膜传感器包括自下而上依次设置的陶瓷电极塞、绝热层、薄膜热电偶敏感层、绝缘层和火工品薄膜五层结构，以及薄膜热电偶正极引线、薄膜热电偶负极引线、火工品桥区正极引线、火工品桥区负极引线四个引线。本发明采用MEMS工艺，将薄膜热电偶传感器、火工品桥区集成在陶瓷电极塞上，首次实现了火工品桥区瞬态温度的接触式测量；与传统的原子发射光谱双谱线法的非接触式测温相比，测温精度大大提升。
基本信息
专利标题 ：
一种陶瓷电极塞式火工品桥区温度测量用薄膜传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114509174A
申请号 ：
CN202111635571.9
公开（公告）日 ：
2022-05-17
申请日 ：
2021-12-29
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
蒋洪川台洪日徐睿良李立凯赵晓辉邓新武
申请人 ：
电子科技大学
申请人地址 ：
四川省成都市高新区（西区）西源大道2006号
代理机构 ：
电子科技大学专利中心
代理人 ：
吴姗霖
优先权 ：
CN202111635571.9
主分类号 ：
G01K7/02
IPC分类号 ：
G01K7/02 G01K1/12
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01K
温度测量；热量测量；未列入其他类目的热敏元件
G01K7/02
利用热电元件，例如热电偶
法律状态
2022-06-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01K 7/02
申请日 : 20211229
申请日 : 20211229
2022-05-17 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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