本实用新型提供了一种真空规的捕集装置，用于将真空规和待检测空腔相连通，包括连接管以及用于收集沉积物的捕集组件，连接管的一端与真空规可拆卸连接，另一端与待检测空腔可拆卸连接；捕集组件包括主动捕集器和被动捕集器，捕集组件与连接管可拆卸连接。本实用新型提供的真空规的捕集装置，在真空规和待检测空腔之间设置连接管和捕集组件，主动捕集器可以在气体流动时即对带电物质的颗粒杂质进行捕集和沉降，被动捕集器可以利用其物理原理对中性物的颗粒杂质进行过滤，达到捕集颗粒杂质及其他沉降污染物的效果，捕集组件可以拆卸，可以将捕集组件拆卸进行清洗，使用寿命长且能够有效地减少了沉积物在真空规的膜片上的沉积。