一种全差分扭摆式双音叉MEMS陀螺

授权

摘要

本实用新型提供一种全差分扭摆式双音叉MEMS陀螺，包括：基座；多个质量块，多个质量块沿空间的一条直线分布；多个支撑弹簧，多个质量块上下两侧通过支撑弹簧支撑在固支点；多个耦合弹簧，多个质量块平均分成对称两组，同一组内的多个质量块之间水平方向上采用耦合弹簧连接，两组质量块分别与相应的耦合弹簧形成音叉谐振子，两侧音叉谐振子与相应的支撑弹簧形成两侧扭摆音叉，两侧扭摆音叉相邻的两个质量块之间直接连接；多个平衡杆，同一侧扭摆音叉内的多个质量块分别采用平衡杆连接以抑制多个质量块在同一时刻在竖直方向上的同向运动，平衡杆上下对称。

基本信息

专利标题：

一种全差分扭摆式双音叉MEMS陀螺

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020255009.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-03-04

授权号：

CN211425463U

授权日：

2020-09-04

发明人：

不公告发明人

申请人：

华芯智能（珠海）科技有限公司

申请人地址：

广东省珠海市横琴新区宝华路6号105室-68728（集中办公区）

代理机构：

北京中原华和知识产权代理有限责任公司

代理人：

孙磊

优先权：

CN202020255009.8

主分类号：

G01C19/5621

IPC分类号：

G01C19/5621