一种音叉式结构MEMS陀螺仪

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摘要

本实用新型公开了一种音叉式结构MEMS陀螺仪，包括：第一框架、第二框架、第三框架、第四框架、第一梁、第二梁、第三梁、第四梁、第五梁、第六梁、第七梁、第八梁、第九梁、第十梁、第十一梁、第十二梁、第十三梁、第十四梁、第一梳齿电极、第二梳齿电极、第三梳齿电极、第四梳齿电极、第五梳齿电极、第六梳齿电极、第七梳齿电极、第八梳齿电极、第九梳齿电极、第十梳齿电极、第十一梳齿电极、第十二梳齿电极、第十三梳齿电极、第十四梳齿电极以及第一锚点、第二锚点、第三锚点、第四锚点；该陀螺仪可有效抑制加速度和振动引起的测量误差，从而提高器件性能；该结构电极排布方式可抑制检测电极静电力的不利影响，也有利于提高器件的性能。

基本信息

专利标题：

一种音叉式结构MEMS陀螺仪

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920440915.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-04-02

授权号：

CN209446069U

授权日：

2019-09-27

发明人：

王志周骏王龙峰山永启雷龙海

申请人：

四川知微传感技术有限公司

申请人地址：

四川省成都市高新区（西区）天辰路88号4栋三单元4层

代理机构：

成都行之专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

熊曦

优先权：

CN201920440915.2

主分类号：

G01C19/5621

IPC分类号：

G01C19/5621