一种基于音叉驱动效应的高精度水平轴硅微陀螺仪
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摘要

本发明公开了一种基于音叉驱动效应的高精度水平轴硅微陀螺仪,包括:包括盖帽层、陀螺仪敏感结构和衬底层;其中,盖帽层和衬底层相连接组成内部真空结构,陀螺仪敏感结构设置于内部真空结构;陀螺敏感结构包括第一驱动梳齿组、第二驱动梳齿组、第三驱动梳齿组、第四驱动梳齿组、第一驱动检测梳齿、第二驱动检测梳齿、第三驱动检测梳齿、第四驱动检测梳齿、第一驱动弹性梁组、第二驱动弹性梁组、第一检测弹性梁组、第二检测弹性梁组、锚区组、第一质量块、第二质量块、耦合弹性梁、第一驱动框架和第二驱动框架。本发明实现了俯仰和滚动角速率的测量,并减小了惯性测量单元的体积。

基本信息
专利标题 :
一种基于音叉驱动效应的高精度水平轴硅微陀螺仪
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN111780737A
申请号 :
CN202010581794.0
公开(公告)日 :
2020-10-16
申请日 :
2020-06-23
授权号 :
CN111780737B
授权日 :
2022-06-03
发明人 :
刘国文高乃坤徐杰张乐民王健鹏刘福民
申请人 :
北京航天控制仪器研究所
申请人地址 :
北京市海淀区北京142信箱403分箱
代理机构 :
中国航天科技专利中心
代理人 :
高志瑞
优先权 :
CN202010581794.0
主分类号 :
G01C19/5621
IPC分类号 :
G01C19/5621  G01C19/5614  G01C19/5726  G01C19/5733  G01C19/56  
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IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01C
测量距离、水准或者方位;勘测;导航;陀螺仪;摄影测量学或视频测量学
G01C19/00
陀螺仪;使用振动部件的转动敏感装置;不带有运动部件的转动敏感装置;使用陀螺效应测量角速率
G01C19/56
使用振动部件的转动敏感装置,例如基于科里奥利力的振动角速度传感器
G01C19/5607
使用振动音叉
G01C19/5621
包含微机械结构的装置
法律状态
2022-06-03 :
授权
2020-11-03 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01C 19/5621
申请日 : 20200623
2020-10-16 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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