横向效应硅——蓝宝石力敏元件
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
本实用新型是以具有弹性的、绝缘的蓝宝石为应变基片并在其上外延的单晶硅，通过平面半导体微电子工艺制作横向效应X型力敏元件，成X形。其四端面上是铝膜电极，具有体积小、稳定性好。精度和工作温度高等特点，是理想的单一力敏元件。可利用压力、荷重、位移、加速度等力学量传感器装配工艺，制作上述硅——蓝宝石力学量传感器。
基本信息
专利标题 ：
横向效应硅——蓝宝石力敏元件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN89214111.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
1989-07-15
授权号 ：
CN2060948U
授权日 ：
1990-08-22
发明人 ：
姜海平孙小冬
申请人 ：
机械电子工业部第四十九所
申请人地址 ：
黑龙江省哈尔滨市44号信箱科技部
代理机构 ：
机械电子工业部电子专利服务中心
代理人 ：
吴德明
优先权 ：
CN89214111.5
主分类号 ：
H01L49/00
IPC分类号 ：
H01L49/00 G01L1/20
法律状态
1994-06-01 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1991-05-08 ：
授权
1990-08-22 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
