胶体敏感薄膜气敏元件
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
本发明涉及气体敏感薄膜的制备技术，以及用该技术对乙醇、ＣＯ和H2具有高选择性的薄膜气敏元件。$本发明方法是选用敏感原材料，制备稳定的溶胶并定量掺杂碱土元素、稀土元素和贵金属元素，再采用浸涂法或旋转涂布法，在烧制好电极的瓷片或瓷管上形成胶体薄膜，经真空干燥，温度程序处理和气氛处理，最后得到稳定的气敏薄膜。$由于掺杂、温度处理、程序升温的不同，分别得到乙醇、ＣＯ和H2具有高选择性的元件。$使用本发明方法制作的敏感薄膜，成本比用一般工艺制作的薄膜降低３０—５０％，元件的一致性和稳定性都明显提高。
基本信息
专利标题 ：
胶体敏感薄膜气敏元件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1079303A
申请号 ：
CN93104690.4
公开（公告）日 ：
1993-12-08
申请日 ：
1993-04-17
授权号 ：
CN1037632C
授权日 ：
1998-03-04
发明人 ：
刘锦淮张耀华唐红霖
申请人 ：
中国科学院合肥智能机械研究所
申请人地址 ：
230031安徽省合肥市1130信箱
代理机构 ：
中国科学院合肥专利事务所
代理人 ：
周国城
优先权 ：
CN93104690.4
主分类号 ：
G01N27/12
IPC分类号 ：
G01N27/12 H01L49/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N27/00
用电、电化学或磁的方法测试或分析材料
G01N27/02
通过测试阻抗
G01N27/04
通过测试电阻
G01N27/12
与流体的吸收有关的固体的电阻，依赖于与流体发生反应的固体的电阻
法律状态
2003-06-11 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1998-03-04 ：
授权
1993-12-08 ：
公开
1993-11-24 ：
实质审查请求的生效
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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