气敏器件
公开
摘要
本公开的各实施例涉及气敏器件。公开了一种气敏器件(10)。该气敏器件包括衬底结构(20)和气敏电容器，该气敏电容器包括在绝缘层(30)的第一主表面区域上呈气敏层(45)形式的第一电容器电极(40)以及在绝缘层(30)下方呈埋入导电区域形式的第二电容器电极(60)，使得绝缘层(30)布置在第一电容器电极(40)与第二电容器电极(60)之间；其中气敏层(45)包括响应于气体分子的吸附或解吸而变化的薄层阻抗。还描述了一种用于操作气敏器件(10)的方法。此外，公开了一种包括一个或多个气敏器件的多气体传感器。
基本信息
专利标题 ：
气敏器件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114518388A
申请号 ：
CN202111376473.8
公开（公告）日 ：
2022-05-20
申请日 ：
2021-11-19
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
M·迈耶W·布罗伊尔
申请人 ：
英飞凌科技股份有限公司
申请人地址 ：
德国诺伊比贝尔格
代理机构 ：
北京市金杜律师事务所
代理人 ：
马明月
优先权 ：
CN202111376473.8
主分类号 ：
G01N27/12
IPC分类号 ：
G01N27/12 G01N27/22 G01N27/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N27/00
用电、电化学或磁的方法测试或分析材料
G01N27/02
通过测试阻抗
G01N27/04
通过测试电阻
G01N27/12
与流体的吸收有关的固体的电阻，依赖于与流体发生反应的固体的电阻
法律状态
2022-05-20 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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