叠加式敏感层甲醛气敏器件及其制作方法
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
摘要
叠加式敏感层甲醛气敏器件及其制作方法，属于金属氧化物半导体气敏元件技术领域。采用旁热式器件结构，以Al2O3陶瓷管为载体，外表面采用梳状式Au电极，敏感层为内敏感膜和外敏感膜叠加，内敏感膜材料组分以含钇的γ－Fe2O3为基质，掺入SnSO4和AuCl3，外表面薄膜敏感层材料为氧化锡铟纳米薄膜。本发明集厚膜敏感层、薄膜型敏感层的优势为一体，在降低器件功耗、保持稳定可靠性的前提下，充分发挥纳米量子效应，自催化活性和显著的表面界面效应，得到响应甲醛气体灵敏度高、分辨率高、选择性能好、响应与恢复时间短、抗湿性能好、寿命长的气敏传感器器件。
基本信息
专利标题 ：
叠加式敏感层甲醛气敏器件及其制作方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1804609A
申请号 ：
CN200610042039.5
公开（公告）日 ：
2006-07-19
申请日 ：
2006-01-17
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
裴素华黄萍朱俊孔岳彬
申请人 ：
山东师范大学
申请人地址 ：
250014山东省济南市历下区文化东路88号
代理机构 ：
济南金迪知识产权代理有限公司
代理人 ：
鲍光明
优先权 ：
CN200610042039.5
主分类号 ：
G01N27/407
IPC分类号 ：
G01N27/407 G01N27/333
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N27/18
••••由于被试环境物质的热传导变化引起的电阻
G01N27/26
通过测试电化学变量；用电解或电泳法
G01N27/403
电池和电极组件
G01N27/406
具有固体电解质的电池和探头
G01N27/407
用于测试或分析气体
法律状态
2010-03-17 ：
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
2008-07-30 ：
授权
2006-09-13 ：
实质审查的生效
2006-07-19 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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