陀螺仪
实质审查的生效
摘要
本申请实施例涉及陀螺仪技术领域，特别涉及一种陀螺仪，包括：衬底，衬底上设置有：Z轴检测结构，Z轴检测结构包括沿第一方向对称设置的2个Z轴质量块；联动部件，联动部件用于驱动2个Z轴质量块反向移动，以产生电容变化，联动部件包括：4个L型刚性梁，4个L型刚性梁合围成第一容纳区，Z轴质量块位于第一容纳区内，其中，在第一方向上正对的两个L型刚性梁的长轴通过第一耦合连接件相连，L型刚性梁的短轴与正对的Z轴质量块的侧壁相连。本申请实施例有利于提高陀螺仪的检测精度。
基本信息
专利标题 ：
陀螺仪
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114526718A
申请号 ：
CN202210130251.6
公开（公告）日 ：
2022-05-24
申请日 ：
2022-02-11
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
黄占喜周宁宁
申请人 ：
绍兴圆方半导体有限公司
申请人地址 ：
浙江省绍兴市越城区皋埠街道银桥路326号3号楼2层203、204、206室
代理机构 ：
上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
成丽杰
优先权 ：
CN202210130251.6
主分类号 ：
G01C19/5712
IPC分类号 ：
G01C19/5712
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01C
测量距离、水准或者方位；勘测；导航；陀螺仪；摄影测量学或视频测量学
G01C19/00
陀螺仪；使用振动部件的转动敏感装置；不带有运动部件的转动敏感装置；使用陀螺效应测量角速率
G01C19/56
使用振动部件的转动敏感装置，例如基于科里奥利力的振动角速度传感器
G01C19/5705
使用被驱动做绕轴往复旋转运动的部件
G01C19/5712
包含微机械结构的设备
法律状态
2022-06-10 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01C 19/5712
申请日 : 20220211
申请日 : 20220211
2022-05-24 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
