一种微机电两轴陀螺仪
授权
摘要

本发明提供了一种微机电两轴陀螺仪,驱动结构包括驱动质量块和驱动电极,驱动质量块与驱动电极构成驱动电容;驱动电容用于驱动所述驱动质量块在一特定方向上做往复振动;每个检测结构包括检测质量块和检测电极,检测质量块与检测电极构成检测电容;检测电容用于检测驱动质量块上产生的科氏力带动检测质量块绕第一轴或第二轴运动而引起的电容变化。由于驱动质量块做往复振动的方向与检测质量块运动的方向即绕第一轴和第二轴运动的方向均不同,因此,在无角速度输入即无科氏力的情况下,驱动质量块不会带动检测质量块运动,从而可以实现驱动模态下驱动结构和检测结构的机械解耦,进而可以减小陀螺仪的输出正交误差,提高陀螺仪的输出精度。

基本信息
专利标题 :
一种微机电两轴陀螺仪
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN107167123A
申请号 :
CN201710432994.8
公开(公告)日 :
2017-09-15
申请日 :
2017-06-09
授权号 :
CN107167123B
授权日 :
2022-04-05
发明人 :
邹波郭梅寒
申请人 :
深迪半导体(上海)有限公司
申请人地址 :
上海市自由贸易试验区龙东大道3000号1号楼A栋306室
代理机构 :
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 :
王宝筠
优先权 :
CN201710432994.8
主分类号 :
G01C19/5712
IPC分类号 :
G01C19/5712  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01C
测量距离、水准或者方位;勘测;导航;陀螺仪;摄影测量学或视频测量学
G01C19/00
陀螺仪;使用振动部件的转动敏感装置;不带有运动部件的转动敏感装置;使用陀螺效应测量角速率
G01C19/56
使用振动部件的转动敏感装置,例如基于科里奥利力的振动角速度传感器
G01C19/5705
使用被驱动做绕轴往复旋转运动的部件
G01C19/5712
包含微机械结构的设备
法律状态
2022-04-05 :
授权
2022-03-18 :
著录事项变更
IPC(主分类) : G01C 19/5712
变更事项 : 申请人
变更前 : 深迪半导体(上海)有限公司
变更后 : 深迪半导体(绍兴)有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 201203 上海市自由贸易试验区龙东大道3000号1号楼A栋306室
变更后 : 312030 浙江省绍兴市柯桥区柯桥经济技术开发区柯北大道487号智能创新中心5号楼
2020-04-14 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01C 19/5712
申请日 : 20170609
2017-09-15 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
  • 联系电话
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 联系 Q Q
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 关注微信
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 收藏
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332