MEMS陀螺仪
公开
摘要

本发明公开了MEMS陀螺仪,其包括锚点;谐振器,包括等间距间隔设置的八个谐振块以及连接相邻两个谐振块的耦合梁,谐振块通过锚接梁连接于锚点,耦合梁包括第一耦合梁和第二耦合梁,锚接梁可解耦谐振块的径向运动和周向运动,八个谐振块分为一对第一谐振块、一对第二谐振块、一对第三谐振块以及一对第四谐振块;换能器,与谐振器电场耦合;工作模态包括振动模态和检测模态,振动模态下,换能器驱动一对第一谐振块沿第一轴振动以及一对第二谐振块沿第二轴振动,并带动一对第三谐振块沿第四轴振动以及一对第四谐振块沿第三轴振动;检测模态下,换能器用于检测一对第三谐振块沿第三轴的振动和一对第四谐振块沿第四轴的振动。

基本信息
专利标题 :
MEMS陀螺仪
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114295113A
申请号 :
CN202111675123.1
公开(公告)日 :
2022-04-08
申请日 :
2021-12-31
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
杨珊占瞻严世涛马昭阚枭彭宏韬洪燕黎家健陈秋玉
申请人 :
瑞声开泰科技(武汉)有限公司
申请人地址 :
湖北省武汉市光谷三路777号武汉东湖综合保税区A塔楼
代理机构 :
深圳紫辰知识产权代理有限公司
代理人 :
万鹏
优先权 :
CN202111675123.1
主分类号 :
G01C19/5691
IPC分类号 :
G01C19/5691  B81B7/02  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01C
测量距离、水准或者方位;勘测;导航;陀螺仪;摄影测量学或视频测量学
G01C19/00
陀螺仪;使用振动部件的转动敏感装置;不带有运动部件的转动敏感装置;使用陀螺效应测量角速率
G01C19/56
使用振动部件的转动敏感装置,例如基于科里奥利力的振动角速度传感器
G01C19/567
利用振动节点或波腹的相位移动
G01C19/5691
本质上的三维振动器,如酒杯型振动器
法律状态
2022-04-08 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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