放电激励气体激光装置
授权
摘要
本实用新型实施例提供一种放电激励气体激光装置。通过在第1密封部件的大气侧设置第2密封部件，并且，向第1密封部件与第2密封部件之间的空间内导入惰性气体或氮气，这样，能够通过导入的惰性气体或氮气对该空间内的气体进行净化，防止了大气中的水分和氧气等成分透过第1密封部件进入腔室内，从而能够保证放电激励气体激光装置的性能，避免激光气体的交换频率上升以及运行成本的增加。
基本信息
专利标题 ：
放电激励气体激光装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020259817.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-05
授权号 ：
CN211789972U
授权日 ：
2020-10-27
发明人 ：
鲸涼太伊藤贵志石井卓也八代将徳
申请人 ：
极光先进雷射株式会社
申请人地址 ：
日本栃木县
代理机构 ：
北京三友知识产权代理有限公司
代理人 ：
王锴
优先权 ：
CN202020259817.1
主分类号 ：
H01S3/03
IPC分类号 ：
H01S3/03 H01S3/036
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法律状态
2020-10-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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