一种新型蒸发舟夹持结构
授权
摘要
本实用新型公开了一种新型蒸发舟夹持结构，涉及镀膜设备技术领域，本实用新型包括水冷蒸发底板、设置在水冷蒸发底板下方的支撑柱和设置在水冷蒸发底板上的蒸发槽，蒸发槽内对称错位设置有两排用于夹持蒸发舟结构相同的正负极夹持组件，两组正负极夹持组件均包括蒸发阴极和蒸发阳极，水冷蒸发底板上设置有两组可以调节对应蒸发阳极位置的弹性调节组件，每个弹性调节组件包括用于安装各自蒸发阳极的复合安装架和安装在水冷蒸发底板下方用于拉紧复合安装架的弹性夹紧机构；本实用新型具有结构简单，夹紧的可靠性提高，不用每一个工作周期对蒸发舟进行调整，所以提高了蒸发舟的使用寿命，保证了生产效率，提高了产量和质量，节约生产成本的优点。
基本信息
专利标题 ：
一种新型蒸发舟夹持结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020292463.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-11
授权号 ：
CN211814628U
授权日 ：
2020-10-30
发明人 ：
赵锐陈清胜
申请人 ：
四川海格锐特科技有限公司
申请人地址 ：
四川省成都市经济技术开发区世纪大道515号
代理机构 ：
成都弘毅天承知识产权代理有限公司
代理人 ：
邓芸
优先权 ：
CN202020292463.0
主分类号 ：
C23C14/26
IPC分类号 ：
C23C14/26 C23C14/56
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
C23C14/26
电阻加热蒸发源法或感应加热蒸发源法
法律状态
2020-10-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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