多层结构蒸发源
专利权的终止
摘要
CdS太阳电池的蒸发装置包括在一个容器内装上套有高温绝缘管的加热丝绕成4—8层结构的加热器，形成多层加热系统，在层与层之间放入待蒸发的原料。这种蒸发源重现性好，寿命长，节省原料并降低成本。制成面积为50cm2的太阳电池其转换效率为4—5％的成品率达到92％。这种蒸发源还适合于ZnS和在真空下升华的材料的蒸发。
基本信息
专利标题 ：
多层结构蒸发源
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN87206452.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
1987-04-18
授权号 ：
CN87206452U
授权日 ：
1988-04-27
发明人 ：
王给祥孙玉茹王岚聂全意
申请人 ：
中国科学院长春应用化学研究所
申请人地址 ：
吉林省长春市斯大林大街109号
代理机构 ：
中科院长春专利事务所
代理人 ：
曹桂珍
优先权 ：
CN87206452.2
主分类号 ：
C23C14/26
IPC分类号 ：
C23C14/26 H01L31/18
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
C23C14/26
电阻加热蒸发源法或感应加热蒸发源法
法律状态
1990-08-01 ：
专利权的终止
1989-02-15 ：
授权
1988-04-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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