蒸发机构及蒸发镀膜设备
专利申请权、专利权的转移
摘要

本申请提供了蒸发机构及蒸发镀膜设备,涉及真空镀膜技术领域。一种蒸发机构,用于真空镀膜,包括蒸发槽、负极、第一蒸发舟组件以及第二蒸发舟组件。第一蒸发舟和第二蒸发舟沿预设方向交替设置于负极相对的两侧。在不改变蒸发舟结构的情况下,增大蒸发面积,提高镀膜的均匀性,并且该结构使得位于负极同一侧的相邻的两个蒸发舟的舟间距增大,提高蒸发舟的散热效果,延长蒸发舟的使用寿命。第一蒸发舟和第二蒸发舟沿预设方向的舟间距为30‑100mm。可以较大程度的减少溅射带来的杂质和穿孔数量,可使镀膜的溅射针孔从每平方2‑3个减少至0.1‑0.5个,显著提高镀膜的质量。

基本信息
专利标题 :
蒸发机构及蒸发镀膜设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922075518.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-11-25
授权号 :
CN212247179U
授权日 :
2020-12-29
发明人 :
冯俊敏张万财吴婷婷
申请人 :
深圳市海瀚新能源技术有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市龙岗区布吉街道金排社区信义假日名城景和园10栋508
代理机构 :
北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
赵薇
优先权 :
CN201922075518.2
主分类号 :
C23C14/24
IPC分类号 :
C23C14/24  C23C14/26  C23C14/56  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
法律状态
2022-01-28 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : C23C 14/24
登记生效日 : 20220117
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 深圳市海瀚新能源技术有限公司
变更后权利人 : 厦门海辰新能源科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 518000 广东省深圳市龙岗区布吉街道金排社区信义假日名城景和园10栋508
变更后权利人 : 361000 福建省厦门市火炬高新区(同翔)产业基地布塘中路11号5#综合楼201-1
2020-12-29 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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