蒸发镀膜设备

专利申请权、专利权的转移

摘要

本申请提供了蒸发镀膜设备，涉及真空镀膜技术领域。蒸发镀膜设备包括真空室，置于真空室内且沿着纵向方向排列的至少两个蒸发舟，用于控制基材运行的卷绕系统；每个蒸发舟均配设有隔离室和用于输送丝体的送丝系统，蒸发舟位于隔离室内，丝体穿过隔离室且丝体与蒸发舟接触；真空室的上方设有流通室，流通室的上端敞开，流通室的内腔与隔离室的内腔形成流通通道，基材水平从流通室的上端经过。显著提高镀膜的质量。

基本信息

专利标题：

蒸发镀膜设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202022501396.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-11-25

授权号：

CN214115715U

授权日：

2021-09-03

发明人：

冯俊敏张万财吴婷婷

申请人：

深圳市海瀚新能源技术有限公司

申请人地址：

广东省深圳市龙岗区布吉街道金排社区信义假日名城景和园10栋508

代理机构：

北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)

代理人：

吕露

优先权：

CN202022501396.1

主分类号：

C23C14/56

IPC分类号：

C23C14/56 C23C14/24 C23C14/26

IPC结构图谱

C部——化学；冶金

C23

对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制

C23C

对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆

C23C14/00

通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆

C23C14/22

以镀覆工艺为特征的

C23C14/56

连续镀覆的专用设备；维持真空的装置，例如真空锁定器

法律状态

2022-02-01 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移IPC(主分类) : C23C 14/56
登记生效日 : 20220119
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 深圳市海瀚新能源技术有限公司
变更后权利人 : 厦门海辰新能源科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 518000 广东省深圳市龙岗区布吉街道金排社区信义假日名城景和园10栋508
变更后权利人 : 361000 福建省厦门市火炬高新区（同翔）产业基地布塘中路11号5#综合楼201-1

2021-09-03 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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