蒸发镀膜装置

授权

摘要

本申请涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种蒸发镀膜装置。一种蒸发镀膜装置，包括镀膜室、抽真空组件以及辅助抽真空件；辅助抽真空件通过第一管道与镀膜室连通，辅助抽真空件用于抽取镀膜室内的包括蒸汽的部分气体，抽真空组件通过第二管道与镀膜室连通，抽真空组件用于抽取镀膜室内水蒸汽。镀膜室内主要存在两部分的气体，其中一部分气体为水蒸汽，另一部分为氧气等气体，首先利用辅助抽真空件对镀膜室内的水蒸汽迅速捕集，然后再利用抽真空组件对镀膜室内的氧气等气体进行捕集；对镀膜室内的气体分别利用不同组件分别进行捕集，大大缩短了对镀膜室抽真空的时间，不仅降低了各个组件的耗电量，又提供了工作效率。

基本信息

专利标题：

蒸发镀膜装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922153662.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-04

授权号：

CN211497762U

授权日：

2020-09-15

发明人：

王君依君粱惠朋

申请人：

沈阳爱科斯科技有限公司

申请人地址：

辽宁省沈阳市沈北新区蒲河路83-42号

代理机构：

北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)

代理人：

毕翔宇

优先权：

CN201922153662.3

主分类号：

C23C14/24

IPC分类号：

C23C14/24 C23C14/56