一种蒸发镀膜装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种蒸发镀膜装置，包括蒸发舟和过滤件；所述过滤件盖置在所述蒸发舟上；所述蒸发舟内摞置有阻挡件；和/或，所述蒸发舟内摞置有内过滤件。蒸发舟包括蒸发舟‑底板、蒸发舟‑前侧板、蒸发舟‑后侧板、蒸发舟‑左侧板、蒸发舟‑左翼板、蒸发舟‑右侧板、蒸发舟‑右翼板；过滤件包括过滤件‑顶板，所述过滤件‑顶板的板面中部分布有过滤件‑孔；阻挡件包括阻挡件‑底板，所述阻挡件‑底板的前、后分别设置有阻挡件‑凹口；内过滤件包括内过滤件‑底板，所述内过滤件‑底板的板面中部分布有内过滤件‑孔。本实用新型可有效地阻挡住和/或过滤掉飞溅的微小颗粒，使气态的物理分子或离子蒸镀在工件上，大大提高了产品质量。
基本信息
专利标题 ：
一种蒸发镀膜装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123382036.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-29
授权号 ：
CN216614823U
授权日 ：
2022-05-27
发明人 ：
张秀明张贻海李剑王丽娟孟凡华
申请人 ：
唐山斯腾光电科技有限公司
申请人地址 ：
河北省唐山市玉田县林南仓镇东路南
代理机构 ：
北京国贝知识产权代理有限公司
代理人 ：
尹晓强
优先权 ：
CN202123382036.5
主分类号 ：
C23C14/26
IPC分类号 ：
C23C14/26 C23C14/56 C23C14/06
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
C23C14/26
电阻加热蒸发源法或感应加热蒸发源法
法律状态
2022-05-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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