一种用于GIGS太阳能蒸发镀膜的蒸发源装置
授权
摘要
本实用新型公开一种用于GIGS太阳能蒸发镀膜的蒸发源装置，包括蒸发源本体以及设于蒸发源本体内的坩埚，其特征在于，所述蒸发源本体内壁间隔设有第一加热丝与第二加热丝，第一加热丝位于蒸发源本体的头部，第一加热丝与第二加热丝均沿蒸发源本体内壁环形分布，蒸发源本体内的底部还设有第三加热丝；坩埚内的头部设有束流块，束流块设有与坩埚同轴的束流孔，束流孔呈喇叭状，束流孔由头部朝尾部渐缩；该装置能够解决蒸发源易堵以及蒸发膜层不均匀的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种用于GIGS太阳能蒸发镀膜的蒸发源装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922245967.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-16
授权号 ：
CN211170857U
授权日 ：
2020-08-04
发明人 ：
徐根保刘林张宽翔王昌华王宝玉蒋继文
申请人 ：
凯盛光伏材料有限公司
申请人地址 ：
安徽省蚌埠市高新区燕南路1001号
代理机构 ：
安徽省蚌埠博源专利商标事务所(普通合伙)
代理人 ：
陈俊
优先权 ：
CN201922245967.7
主分类号 ：
C23C14/26
IPC分类号 ：
C23C14/26 H01L31/18
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
C23C14/26
电阻加热蒸发源法或感应加热蒸发源法
法律状态
2020-08-04 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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