用于小件镀膜的减速蒸发组合钼舟
授权
摘要
提供一种用于小件镀膜的减速蒸发组合钼舟,属于镀膜装置技术领域,具有舟体,舟体包括舟舱,舟舱两端设有舟翼,舟舱内腔中设有蒸发盖,蒸发盖上设有便于气化膜料通过的一级蒸发镀膜孔,蒸发盖上部的舟舱内腔中设有蒸发缓冲隔板,蒸发缓冲隔板两侧边沿设有便于气化膜料通过的镀膜缓冲缺口,舟舱上开口通过舟盖盖合,舟盖将蒸发盖和蒸发缓冲隔板封于舟舱内,舟盖上设有便于气化膜料通过的二级蒸发镀膜孔。本实用新型实现了对气化膜料的三道缓冲阻挡减速,有效降低了膜料蒸发速度,蒸发雾化小,实现对小零件的均匀镀膜,并且降低了消耗,减小了成本。
基本信息
专利标题 :
用于小件镀膜的减速蒸发组合钼舟
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022251743.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-10-12
授权号 :
CN213708467U
授权日 :
2021-07-16
发明人 :
赵锋毛姬红
申请人 :
宝鸡市天瑞有色金属材料有限责任公司
申请人地址 :
陕西省宝鸡市高新开发区高新大道50号财富大厦B座1507号
代理机构 :
北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
宋秀珍
优先权 :
CN202022251743.X
主分类号 :
C23C14/24
IPC分类号 :
C23C14/24
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
法律状态
2021-07-16 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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