一种可多方向镀膜的热蒸发镀膜机
授权
摘要
本实用新型公开了一种可多方向镀膜的热蒸发镀膜机，包括壳体，壳体的一侧铰接有壳门，壳门的顶部嵌设有透明窗，壳体边侧的顶部固定设有驱动电机，壳体内壁的底端通过固定架固定安装有坩埚，壳体内壁的顶部通过密封轴承分别与两个转轴的一端穿插连接，两个转轴的另一端分别与两个夹紧机构固定连接，两个夹紧机构之间通过连接轴固定连接，本实用新型一种可多方向镀膜的热蒸发镀膜机，镀膜过程中可以通过驱动电机可以带动两个夹紧机构旋转，避免背离靶材的部分镀的膜比较薄，使镀膜更加均匀，提高产品质量。
基本信息
专利标题 ：
一种可多方向镀膜的热蒸发镀膜机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921078683.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-11
授权号 ：
CN210314462U
授权日 ：
2020-04-14
发明人 ：
张硕堂
申请人 ：
安徽嘉硕真空科技有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市肥西县桃花镇长安工业园区玉兰大道与城西湖路交口向西50米
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201921078683.7
主分类号 ：
C23C14/24
IPC分类号 ：
C23C14/24 C23C14/50
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
法律状态
2020-04-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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