镀膜机
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摘要

本实用新型涉及一种镀膜机。一种镀膜机,用于对基材镀膜,其特征在于,包括:壳体,开设有空腔;支撑件,设所述空腔并连接所述壳体,所述支撑件用于支撑所述基材;转动机构,连接所述壳体且具有转动轴,所述转动机构能够相对所述壳体绕所述转动轴转动;及第一靶材和第二靶材,设于所述空腔,所述第一靶材、所述支撑件及所述第二靶材至所述转动轴的距离依次增大,所述第一靶材和所述第二靶材连接所述转动机构,且所述第一靶材和所述第二靶材能够随所述转动机构相对所述支撑件转动。上述镀膜机可有效避免基材与驱动机构之间的作用,减少更换基材对驱动机构带来的碰撞等损伤。且通过设置第一靶材和第二靶材,镀膜机能够实现对基材的双面镀膜。

基本信息
专利标题 :
镀膜机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022169602.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-09-28
授权号 :
CN213803969U
授权日 :
2021-07-27
发明人 :
易伟华张迅郑芳平洪华俊
申请人 :
江西沃格光电股份有限公司
申请人地址 :
江西省新余市高新技术产业开发区西城大道沃格工业园
代理机构 :
广州华进联合专利商标代理有限公司
代理人 :
朱志达
优先权 :
CN202022169602.3
主分类号 :
C23C14/50
IPC分类号 :
C23C14/50  C23C14/34  C23C14/56  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2021-07-27 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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