一种真空镀膜复合涂层装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种真空镀膜复合涂层装置，涉及真空镀膜设备技术领域，包括镀膜箱体、蒸镀源发生器，还包括夹持组件以及镀膜组件，所述蒸镀源发生器固定安装在镀膜箱体顶部；所述夹持组件包括相对布置在镀膜箱体内两侧的L形夹持板，所述L形夹持板分别与推动其在镀膜箱体内水平移动的推动部件连接，所述镀膜箱体外侧设置驱动电机，所述镀膜箱体内底壁设置转轴，通过推动部件推动两侧L形夹持板同时向内侧移动对工件进行夹持固定，启动驱动电机，所述驱动电机带动转轴转动，所述转轴在转动的过程中通过皮带以及皮带轮带动两侧推动部件以及夹持后的工件进行转动，所述镀膜组件对夹持后的工件进行镀膜处理，镀膜更加均匀。
基本信息
专利标题 ：
一种真空镀膜复合涂层装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122093471.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-09-01
授权号 ：
CN216155949U
授权日 ：
2022-04-01
发明人 ：
杨林生
申请人 ：
合肥聚盛真空科技有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市经济技术开发区紫云路北，桃源路西方兴园8幢405室
代理机构 ：
合肥三川专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
潘光亮
优先权 ：
CN202122093471.X
主分类号 ：
C23C14/22
IPC分类号 ：
C23C14/22 C23C14/50
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
法律状态
2022-04-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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