溅射镀膜机
授权
摘要
本实用新型公开了一种溅射镀膜机，其技术方案要点是包括呈圆筒状设置的镀膜室、设置在镀膜室一侧的开关门、设置在镀膜室当中的轴线方向竖直设置的转动筒、设置在转动筒当中并且与转动筒同轴的固定杆、转动连接在转动筒上的若干支撑杆、设置在镀膜室底部的用于对转动筒进行转动的电机以及固定连接在镀膜室底部的用于对镀膜室进行支撑的两竖直设置的支撑板，通过电机带动转动筒进行转动，转动筒在进行转动的通过固定杆带动支撑杆进行转动，从而使得轮毂既能够围绕支撑杆的轴线转动，又能够围绕转动筒的轴线进行转动，从而使得轮毂各处都都能够靠近靶材，从而使得轮毂各处的镀膜厚度更加均匀，提高了轮毂表面镀膜的均匀性。
基本信息
专利标题 ：
溅射镀膜机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021451314.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-21
授权号 ：
CN212800520U
授权日 ：
2021-03-26
发明人 ：
傅志坚苏良民
申请人 ：
青岛华磊真空镀膜有限公司
申请人地址 ：
山东省青岛市即墨市北安办事处刘家后戈庄村
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202021451314.0
主分类号 ：
C23C14/34
IPC分类号 ：
C23C14/34 C23C14/50
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
法律状态
2021-03-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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