一种溅射镀膜机片架
授权
摘要
为了解决在洁净室内完成镀膜基片的贴片过程需要把上料架上的镀膜成品卸下来然后搬运到洁净室内贴上镀膜基片，工序复杂且耗费大量的人力和时间的问题，本实用新型提出一种溅射镀膜机片架，包括机片架、齿条和传送轨道，通过将机片架运输到平移架上，通过机片架上的齿条与平移架导轨上的齿轮啮合，通过机片架上的齿条与平移架导轨上的齿轮啮合，同时带动轨道轮沿平移架的传动轨道两侧上壁滚动，从而传送机片架，方便快捷，并且机片架位于传送轨道上方且与传送轨道可拆卸连接，当机片架需要维修时方便替换，且机片架的外表面两面设有间隔相同的数条胶条可以使操作员方便快捷的将镀膜基片黏贴在机片架上实现快速上料。
基本信息
专利标题 ：
一种溅射镀膜机片架
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020636364.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-24
授权号 ：
CN212128293U
授权日 ：
2020-12-11
发明人 ：
韩阳
申请人 ：
苏州锐世讯光学科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市相城区黄桥街道大庄村大民路(东兴模具有限公司南侧200米)
代理机构 ：
苏州彰尚知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
赵成磊
优先权 ：
CN202020636364.X
主分类号 ：
C23C14/50
IPC分类号 ：
C23C14/50 C23C14/35
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2020-12-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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