一种高效磁控溅射真空镀膜机

专利权的终止

摘要

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，且公开了一种高效磁控溅射真空镀膜机，包括箱体，所述箱体的左侧固定安装有铰接块，所述铰接块的左侧固定安装有箱门，所述箱门的正面固定安装有观察窗，所述箱门的正面且位于观察窗的上方和下方均固定安装有导轨，所述导轨的内部活动安装有滑块，所述滑块的相对侧活动安装有滚筒，所述箱门的正面且位于滑块的右侧固定安装有第一电动推杆，所述箱体的内壁底部固定安装有底板，底板的顶部固定安装有第二电动推杆。该高效磁控溅射真空镀膜机，通过启动步进电机，步进电机通过输出轴带动夹盘旋转，从而改变夹持零件的夹持角度，达到简单方便调节夹持零件角度的效果，从而提高了该真空镀膜机的实用性。

基本信息

专利标题：

一种高效磁控溅射真空镀膜机

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921688964.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-10-10

授权号：

CN210620930U

授权日：

2020-05-26

发明人：

不公告发明人

申请人：

昆山易泰薄膜装饰有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市昆山市千灯镇淞南西路91号

代理机构：

广州科捷知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

袁嘉恩

优先权：

CN201921688964.4

主分类号：

C23C14/35

IPC分类号：

C23C14/35 C23C14/52 C23C14/50 B08B1/04