一种磁控溅射真空镀膜机的自动升压装置
专利权的终止
摘要

本实用新型提供了一种磁控溅射真空镀膜机的自动升压装置,包括恒流板,与恒流板相连接的电位器,所述恒流板与电位器之间的线路上再连接一个继电器和电位器并在该继电器的线圈上接控制开关;本装置在原来控制电路的基础上,增加一个继电器和电位器,通过对新增继电器内线圈施加电压,让控制线路转换到新增的电位器上,得到一个比原电位器大得多的电流,从而使得电压很快升上去,缩短了镀膜机启靶升压时间,提高了工作效率,且整个控制电路自动升压,不易产生误差,操作方便。

基本信息
专利标题 :
一种磁控溅射真空镀膜机的自动升压装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200720176792.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2007-10-23
授权号 :
CN201132850Y
授权日 :
2008-10-15
发明人 :
吴道元
申请人 :
江苏元升太阳能有限公司
申请人地址 :
226500江苏省如皋市花市路666号
代理机构 :
北京汇泽知识产权代理有限公司
代理人 :
张瑾
优先权 :
CN200720176792.3
主分类号 :
C23C14/35
IPC分类号 :
C23C14/35  C23C14/54  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的,例如磁控溅射
法律状态
2015-12-09 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101637488119
IPC(主分类) : C23C 14/35
专利号 : ZL2007201767923
申请日 : 20071023
授权公告日 : 20081015
终止日期 : 20141023
2008-10-15 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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