镀膜用转盘及镀膜机
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
本发明提供一种镀膜用转盘，其包括：一个转盘本体；设置在该转盘本体上的至少一个安装口；至少一个基片夹具，每个基片夹具对应收容在一个安装口内；每个基片夹具对应设有一个马达，该马达用于驱动对应的基片夹具翻转。本发明提供的镀膜用转盘避免手动翻转而导致的真空抽气模组、加热器、镀膜靶及充气孔等元件的重复使用，从而，减小设备损耗，降低设备成本。另外，本发明还提供使用上述镀膜用转盘的镀膜机。
基本信息
专利标题 ：
镀膜用转盘及镀膜机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1995444A
申请号 ：
CN200610032815.3
公开（公告）日 ：
2007-07-11
申请日 ：
2006-01-06
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
李欣和董才士
申请人 ：
鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
申请人地址 ：
518109广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN200610032815.3
主分类号 ：
C23C14/22
IPC分类号 ：
C23C14/22 C23C14/56 G02B1/10
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
法律状态
2009-12-30 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
2008-03-12 ：
实质审查的生效
2007-07-11 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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