统一进料蒸发装置和镀膜设备
授权
摘要
一种统一进料蒸发装置和镀膜设备。该统一进料蒸发装置包括一蒸发器主体和一管路组件。该蒸发器主体具有相互隔离的多个腔室，并设有一加热安装部，其中该多个腔室用于对应地接收多种化学单体液体，其中该加热安装部适于安装该加热装置，使得该加热装置同时加热该多种化学单体液体以被对应地蒸发成多种化学单体气体。该管路组件包括多个进料管路和一出料管路，其中该多个进料管路分别对应地连通于该多个腔室，用于分别向对应的该多个腔室输送该多种化学单体液体，其中该出料管路具有同时连通于该多个腔室的至少一进口端和适于连通于该镀膜主体的一出口端，用于将该多种化学单体气体输送至该镀膜主体的同一进料位置。
基本信息
专利标题 ：
统一进料蒸发装置和镀膜设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022280141.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-13
授权号 ：
CN213680863U
授权日 ：
2021-07-13
发明人 ：
宗坚文毅
申请人 ：
江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市惠山经济开发区玉祁配套区东环路182号
代理机构 ：
宁波理文知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
罗京
优先权 ：
CN202022280141.7
主分类号 ：
C23C14/32
IPC分类号 ：
C23C14/32 C23C14/12
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
C23C14/32
爆炸法；蒸发及随后的气化物电离法
法律状态
2021-07-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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