蒸发源
授权
摘要
本实用新型涉及显示设备技术领域，尤其涉及一种蒸发源。该蒸发源包括冷却装置、加热装置和多个坩埚；冷却装置包括冷却箱和冷却组件；冷却箱设置有多个彼此独立的装配槽，坩埚一一对应设置于装配槽内；冷却组件位于冷却箱上，加热装置位于冷却箱内，其中，冷却组件设置成冷却冷却箱，加热装置设置成加热坩埚。本实用新型所提供的蒸发源能够进行多种材料蒸镀的同时，避免不同材料之间的相互掺杂。
基本信息
专利标题 ：
蒸发源
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922492745.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-31
授权号 ：
CN211872077U
授权日 ：
2020-11-06
发明人 ：
轩景泉林文晶马晓宇
申请人 ：
上海升翕光电科技有限公司
申请人地址 ：
上海市金山区夏宁路666弄62号
代理机构 ：
北京汇思诚业知识产权代理有限公司
代理人 ：
冯伟
优先权 ：
CN201922492745.5
主分类号 ：
C23C14/26
IPC分类号 ：
C23C14/26
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
C23C14/26
电阻加热蒸发源法或感应加热蒸发源法
法律状态
2020-11-06 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
