热阻式蒸镀设备
授权
摘要
本申请涉及一种热阻式蒸镀设备，其包括设备外壳以及位于所述设备外壳内的镀锅、热蒸系统和至少一个气体电离系统，其中，所述设备外壳具有容置腔，所述镀锅设置于所述容置腔的一侧，所述镀锅包括基板，所述基板朝向所述热蒸系统，所述热蒸系统设置于所述容置腔相对于所述镀锅的另一侧，并与所述镀锅的位置对应，所述热蒸系统将膜料进行加热形成靶材分子，至少一个所述气体电离系统设置于所述容置腔内邻近所述热蒸系统的一侧，至少一个所述气体电离系统提供气体离子，使得所述气体离子带动所述靶材分子移动至所述基板，所述靶材分子在所述基板表面形成膜层。
基本信息
专利标题 ：
热阻式蒸镀设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122723917.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-09
授权号 ：
CN216404519U
授权日 ：
2022-04-29
发明人 ：
黄琪兵杨然翔陈旋宇
申请人 ：
重庆康佳光电技术研究院有限公司
申请人地址 ：
重庆市璧山区璧泉街道钨山路69号（1号厂房）
代理机构 ：
广州三环专利商标代理有限公司
代理人 ：
熊永强
优先权 ：
CN202122723917.2
主分类号 ：
C23C14/26
IPC分类号 ：
C23C14/26 C23C14/32
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
C23C14/26
电阻加热蒸发源法或感应加热蒸发源法
法律状态
2022-04-29 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
