加热熔罐和包括该加热熔罐的沉积装置
专利申请权、专利权的转移
摘要
本发明提供了一种加热熔罐和一种沉积装置，加热熔罐具有均匀的沉积速率和优良的可重复性。该沉积装置的加热熔罐包括：钛主体，具有内腔和开口，内腔用于容纳要被沉积的材料，开口用于喷射要被沉积的材料；导线，用于加热主体；绝缘体，用于使主体与导线绝缘。
基本信息
专利标题 ：
加热熔罐和包括该加热熔罐的沉积装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1769514A
申请号 ：
CN200510117357.9
公开（公告）日 ：
2006-05-10
申请日 ：
2005-11-03
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
柳承润柳景泰马成乐
申请人 ：
三星SDI株式会社
申请人地址 ：
韩国京畿道
代理机构 ：
北京铭硕知识产权代理有限公司
代理人 ：
韩明星
优先权 ：
CN200510117357.9
主分类号 ：
C23C14/26
IPC分类号 ：
C23C14/26 C23C14/12
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
C23C14/26
电阻加热蒸发源法或感应加热蒸发源法
法律状态
2012-12-12 ：
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101482945554
IPC(主分类) : C23C 14/26
专利号 : ZL2005101173579
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 三星移动显示器株式会社
变更后权利人 : 三星显示有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 韩国京畿道
变更后权利人 : 韩国京畿道龙仁市
登记生效日 : 20121108
号牌文件序号 : 101482945554
IPC(主分类) : C23C 14/26
专利号 : ZL2005101173579
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 三星移动显示器株式会社
变更后权利人 : 三星显示有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 韩国京畿道
变更后权利人 : 韩国京畿道龙仁市
登记生效日 : 20121108
2010-11-17 ：
授权
2009-02-18 ：
专利申请权、专利权的转移(专利申请权的转移)
变更事项 : 申请人
变更前权利人 : 三星SDI株式会社
变更后权利人 : 三星移动显示器株式会社
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 韩国京畿道
变更后权利人 : 韩国京畿道
登记生效日 : 20090116
变更前权利人 : 三星SDI株式会社
变更后权利人 : 三星移动显示器株式会社
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 韩国京畿道
变更后权利人 : 韩国京畿道
登记生效日 : 20090116
2007-10-03 ：
实质审查的生效
2006-05-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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